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沉积气压对溅射氮化铝薄膜结构和光学性能的影响

采用射频反应磁控溅射系统，在K9双面抛光玻璃基底上制备氮化铝薄膜，通过实验测试并结合数值拟合计算研究了其他参数保持不变的条件下......

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薄膜 AlN薄膜沉积气压反应磁控溅射透射谱 thin films AlN film deposition pressure reactive magnet

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